用来激发原子使其产生原子荧光。光源分连续光源和锐线光源。连续光源一般采用高压氙灯，功率可---数百瓦。这种灯测定的灵敏度较低，光谱干扰较大，但是采用一个灯即可激发出各元素的荧光。常用的锐线光源为脉冲供电的高强度空心阴极灯、无电极放电灯及70年代中期提出的可控温度梯度原子光谱灯。采用线光源时，测定某种元素需要配备该元素的光谱灯。由公式 ⑵ 可以看出，原子荧光的强度if与激发光源辐射强度i0成比例，因此原子荧光光度计都采用新的高强度光源提高激发光源辐射强度，全自动荧光光度计标准，i0提高1~2个数量级，双通道荧光光度计标准，进一步降低仪器的检出限。
有较低的检出限，灵敏度高。---对cd、zn等元素有相当低的检出限，cd可达0．001ng·cm-3、zn为0.04ng·cm-3。现已有2o多种元素低于原子吸收光谱法的检出限。由于原子荧光的辐射强度与激发光源成比例，全自动荧光光度计标准，采用新的高强度光源可进一步降低其检出限。干扰较少，谱线比较简单，采用一些装置，可以制成非色散原子荧光分析仪。这种仪器结构简单，价格便宜。分析校准曲线线性范围宽，可达3～5个数量级。由于原子荧光是向空间各个方向发射的，比较容易制作多道仪器，因而能实现多元素同时测定。
1979年郭小伟成功研制出用化物无极放电灯做激发光源的光谱仪，然后于80年代初期，研究小组用技术无偿支援且回购所有成品的方式，湖北荧光光度计标准，与北京地质仪器厂合作，共同研制生产出一台原子荧光光谱仪(也曾和西安无线电八厂、浙江温州分析仪器厂、江苏宝应分析仪器厂等进行过合作和试生产)。自此，的原子荧光行业飞速发展
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